[发明专利]真空紫外光管照明装置有效
| 申请号： | 201510731542.0 | 申请日： | 2015-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106641813B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 孙广尉;孙红胜;王加朋;任小婉;吴柯萱;李世伟;杜继东 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | F21S2/00 | 分类号： | F21S2/00;F21V7/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空紫外光管照明装置，包括：真空紫外光源，用于提供紫外光；设置在所述紫外光出射光路上的平面反射镜，用于将所述紫外光进行反射处理，形成反射紫外光；设置在所述反射紫外光出射光路上的离轴抛物面反射镜，用于将所述反射紫外光进行准直处理后输出；采用全反射的方式实现光管照明，结构简单，有效降低光管照明系统成本，保证装调精度。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 反射 真空紫外光 照明装置 出射光 光管 离轴抛物面反射镜 真空紫外光源 平面反射镜 照明系统 全反射 装调 准直 输出 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空紫外光管照明装置，其特征在于，包括：真空紫外光源，用于提供紫外光；设置在所述紫外光出射光路上的平面反射镜，用于将所述紫外光进行反射处理，形成反射紫外光；设置在所述反射紫外光出射光路上的离轴抛物面反射镜，用于将所述反射紫外光进行准直处理后输出；其中，所述平面反射镜和所述离轴抛物面反射镜采用微晶材料制成；所述离轴抛物面反射镜的反射面conic系数为‑1，曲率半径为‑4000mm，中心厚度为39±0.1mm，近光轴端面厚度为25±0.1mm，远光轴端面厚度为55±0.1mm，有效通光口径为φ220mm；所述平面反射镜反射表面半径为∞mm，厚度为15±0.1mm，有效通光口径为φ135mm；平面反射镜中心与所述离轴抛物面反射镜中心的水平方向距离为1490±5mm，平面反射镜中心与所述离轴抛物面反射镜中心的垂直方向距离为162±2mm。
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