[发明专利]加热盘阻抗测量工装及测量方法有效
| 申请号： | 201510736030.3 | 申请日： | 2015-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN106645954B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张亚新;柴智 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 加热盘阻抗测量工装及测量方法，主要解决现有测量方法测量数据误差大，信号过弱的技术问题。其工装结构包括：绝缘组件、电极组件两个部分。绝缘组件包括绝缘块A、绝缘块B及弹簧；电极组件包括N连接器插座定位基座、固定螺钉、连接板、绝缘板、电极板A、绝缘座A、绝缘座B、电极板B、绝缘套及弹簧。所述N连接器插座定位基座与网络分析仪连接，网络分析仪通过端口输出快速扫频的低功率电信号，该信号通过射频电缆的传输到达加热盘，并产生反射电信号，通过测量复反射系数即可得到加热盘的阻抗ZL。其结构合理，操作方法简便，测量结果可靠，有效提高加热盘阻抗测量的稳定性。可广泛应用于半导体镀膜设备技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 加热盘 阻抗测量 测量 连接器插座 网络分析仪 电极组件 定位基座 绝缘组件 电极板 绝缘块 绝缘座 工装 弹簧 设备技术领域 半导体镀膜 反射电信号 端口输出 反射系数 方法测量 工装结构 固定螺钉 快速扫频 射频电缆 数据误差 信号通过 低功率 绝缘板 绝缘套 连接板 阻抗 传输 应用 | ||
【主权项】：
1.一种加热盘阻抗测量工装，其特征在于：它主要由绝缘组件及电极组件两个部分组成，所述绝缘组件，包括绝缘块A、绝缘块B及弹簧，绝缘块A与B中间安装弹簧形成可压缩的预紧力，对抗加热盘阻抗测量过程中来自电极组件的力，保证加热盘受力均匀、位置对中；所述电极组件，包括N连接器插座定位基座、固定螺钉、螺母、垫片、连接板、绝缘板、电极板A、绝缘座A、绝缘座B、电极板B、绝缘套及弹簧；所述N连接器插座定位基座通过固定螺钉、螺母、垫片固定连接到电极板B上形成第一电极，电极板A依靠圆弧面与加热盘接触形成第二电极，绝缘座A与绝缘座B将第一、第二电极分离，保证两电极间绝缘，能够使第一、第二两个电极紧密接触到腔体及加热盘，增加射频电信号传输面积。
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