[发明专利]一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置在审
| 申请号： | 201510736376.3 | 申请日： | 2015-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN105259370A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 齐蓉;张云飞;林辉;李兵强;杨渭滨 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 顾潮琪 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，包括两块MEMS线加速度芯片和传感器圆盘，所述的传感器圆盘的圆心与转轴固连；两块MEMS线加速度芯片分别安装在传感器圆盘的边沿和圆心上，两块MEMS线加速度芯片的线加速度感应方向相互平行，并与传感器圆盘的半径方向垂直；当传感器圆盘随着转轴旋转时，将两块MEMS线加速度芯片输出的线加速度信号做差，就得到传感器圆盘的圆周旋转线加速度，再除以传感器圆盘的半径，就得到最终的旋转角加速度。本发明使角加速度传感器结构简单，可靠性高，并且在拥有较高的精度的同时，大大降低角加速度传感器成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 加速度计 角加速度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，包括两块MEMS线加速度芯片和传感器圆盘，其特征在于：所述的传感器圆盘的圆心与转轴固连；两块MEMS线加速度芯片分别安装在传感器圆盘的边沿和圆心上，两块MEMS线加速度芯片的线加速度感应方向相互平行，并与传感器圆盘的半径方向垂直；当传感器圆盘随着转轴旋转时，将两块MEMS线加速度芯片输出的线加速度信号做差，就得到传感器圆盘的圆周旋转线加速度，再除以传感器圆盘的半径，就得到最终的旋转角加速度。
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