[发明专利]用于液晶平板显示器镀膜的高纯铝靶材挤压处理方法

摘要

用于液晶平板显示器镀膜的高纯铝靶材挤压处理方法，选取高纯实心铝锭加热使其呈半熔融状态，通过运输轨道进入挤压机中，在挤压机和模具的共同作用下铝锭从挤压机出口处缓慢挤出；经测量计算可得总变形量为81.14％；将冷却后的铝管退火处理，细化晶粒，改善组织；最后根据图纸对铝管进行机械加工，包括表面处理、切割等即得成品。制备高纯铝管靶工艺简单，方便快捷，提高了效率；制得的高纯铝管靶具有细晶组织，晶粒尺寸≤200μm，组织均匀且具有立方织构，能有效提升高纯度铝靶的溅射速率；挤压过程中的挤压温度、挤压速度和挤压力形成一个闭环系统，以最大限度地提高挤压速度和生产效率，同时保证最优良的性能。

主权项

用于液晶平板显示器镀膜的高纯铝靶材挤压处理方法，其特征在于，处理方法包含以下步骤：1)原料准备：根据产品所需尺寸准备挤压模具和一定尺寸的高纯铝锭圆柱体，铝锭纯度高达99.999％；2)模具安装：在进行挤压操作前将准备好的挤压模具安装在2500T双动反向挤压机内；3)加热铝锭：将实心圆柱体高纯铝锭于400～550℃加热1小时，使其呈半熔融状态，保证可溶解的相组织不从固溶中析出或呈现小颗粒的弥散析出；4)挤压操作：将加热后的半熔融实心铝锭直接通过运输轨道进入挤压机中，设定挤压温度为400～450℃，控制挤压速度为15～20cm/min，在挤压机和模具的共同作用下铝锭从挤压机出口处缓慢挤出；5)静置冷却：待材料全部挤压完成后在冷却区静置冷却至常温，得到模具尺寸的半成品铝管，总变形量大于80％；6)退火处理：将冷却后的铝管分别于100～400℃进行30min的退火处理；7)机械加工：完全冷却后，根据图纸对铝管进行机械加工即得成品。