[发明专利]一种LED芯片测试的多波段校准方法

摘要

一种LED芯片测试的多波段校准方法，包括步骤如下：制作标准样片；利用标准机测试所述标准样片得到所述标准样片各波段的波长；利用标准机确定所述标准样片的起始点和点测方向；利用生产机台测试所述标准样片得到所述标准样片各波段的波长；数据比对采取点对点对应分波段比对：将标准机测试标准样片的波长与所述差值做散点图；根据所述散点图对各波段修正；按照所述修正方法将所述生产机台与标准机的各波段校准一致。本发明所述的校准方法对设备进行校准后，提高了测试准确性与一致性，测量值随晶粒尺寸、晶粒间距及环境变化的误差小。采用本发明所述方法校准后的测量设备对LED芯片进行测试时，其测试数据精确可靠，同时不同生产机台各波段的误差小。

主权项

一种LED芯片测试的多波段校准方法，其特征在于，该方法包括步骤如下：(1)制作标准样片：选取标准芯粒摆在一张蓝膜上，制作成标准样片；(2)利用标准机测试所述标准样片得到所述标准样片各波段的波长；利用标准机确定所述标准样片的起始点和点测方向；(3)利用生产机台测试所述标准样片得到所述标准样片各波段的波长；利用生产机台将所述标准样片的起始点和点测方向与所述步骤(2)中的起始点和点测方向分别对应一致；(4)数据比对采取点对点对应分波段比对：将所述标准机与所述生产机台分别对标准样片测试的波长进行点对点做差值，然后将标准机测试标准样片的波长与所述差值做散点图，其中横坐标为标准机测试标准样片的波长，纵坐标为所述差值；(5)根据所述散点图对各波段修正：在所述散点图中确定一条校准波段差值中心线，即以散点图中分布差值的几何中心为校准波段差值中心线；所述校准波段差值中心线对应一个差值；将所述散点按照波段分类，在每个波段中分别确定一条波段差值中心线，所述波段差值中心线是以对应波段内散点的差值中心；每条波段差值中心线对应一个差值；纵向向所述波段差值中心线集中修正各波段散点：所述散点均以所在波段的波段差值中心线为基准，按照波段差值中心线的移动幅度向所述校准波段差值中心线移动，所述波段差值中心线所对应的差值的采取上移减、下移加移动距离的原则与所述校准波段差值中心线修正一致；(6)对经步骤(5)处理后的散点均以所述校准波段差值中心线为基准，整体随所述校准波段差值中心线纵向移动，以使各波段散点所对应的差值范围为‑0.3nm～+0.3nm；(7)按照步骤(3)—步骤(6)的修正方法将所述生产机台与标准机的各波段校准一致。