[发明专利]一种超声波高精度直线位移装置在审
申请号: | 201510743765.9 | 申请日: | 2015-11-05 |
公开(公告)号: | CN105245129A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 白东哲 | 申请(专利权)人: | 沈阳大学 |
主分类号: | H02N2/04 | 分类号: | H02N2/04 |
代理公司: | 沈阳技联专利代理有限公司 21205 | 代理人: | 赵越 |
地址: | 110044 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种超声波高精度直线位移装置,涉及一种精密机械平台装置,所述装置包括导轨、工作台、陶瓷耐磨涂层、底座、地脚、测距仪器、振子底座、螺栓预紧机构、自锁螺母、预紧机构底座固定螺母、振子底座固定螺母、直线微动滑台、振子;单边双足纵弯振子驱动工作台,振子内部安装了压电陶瓷片;底座(4)上面安装了导轨(1)、振子底座(7)和螺栓预紧机构(8);导轨(1)上面有工作台(2),工作台上面安装了直线微动滑台(12),工作台(2)侧面有振子(13);该装置利用压电陶瓷的逆压电效应激发超声振动,借助弹性体谐振放大,通过摩擦耦合产生直线运动,直接驱动工作台,并通过安装在工作台上面的积层压电元件直线微动机构实现纳米精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 超声波 高精度 直线 位移 装置 | ||
【主权项】:
一种超声波高精度直线位移装置,其特征在于,所述装置包括导轨、工作台、陶瓷耐磨涂层、底座、地脚、测距仪器、振子底座、螺栓预紧机构、自锁螺母、预紧机构底座固定螺母、振子底座固定螺母、直线微动滑台、振子;单边双足纵弯振子驱动工作台,振子内部安装了压电陶瓷片;底座(4)上面安装了导轨(1)、振子底座(7)和螺栓预紧机构(8);导轨(1)上面有工作台(2),工作台上面安装了直线微动滑台(12),工作台(2)侧面有振子(13)。
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