[发明专利]静电卡盘静电力的检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 201510743907.1 | 申请日： | 2015-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN105241599A | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 程嘉;王珂晟;张俊斌;王建冲;钟音;路益嘉;季林红 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 任伟 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电卡盘静电力的检测系统，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。本发明进一步涉及一种应用该检测系统检测静电卡盘静电力的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 静电力 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘静电力的检测系统，其特征在于，包括：一晶片；一静电卡盘，该静电卡盘具有相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于放置所述晶片，第二表面具有一进气口；一微力探头单元，该微力探头单元设置于所述晶片远离所述静电卡盘的一侧，用于接触所述晶片；一气体背吹控制单元，该气体背吹控制单元与所述静电卡盘的进气口连通，用于向所述静电卡盘提供气体；一自动控制与采集单元，实时采集并存储所述微力探头单元和气体背吹控制单元中的数据，自动控制所述静电卡盘静电力检测系统。
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