[发明专利]负性含氟光刻胶组合物及用于制备MZI型热-光开关有效
| 申请号： | 201510745633.X | 申请日： | 2015-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN105223776B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 崔占臣;蔡珍珍;史作森;李闯洋 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/038;G02F1/01 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 王淑秋;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 负性含氟光刻胶组合物及用于制备聚合物MZI型热‑光开关波导器件，属于聚合物光波导技术领域。由一系列双键封端的含氟聚碳酸酯、光引发剂、稀释剂、交联剂和有机溶剂组成，按重量和100％计算，双键封端的含氟聚碳酸酯的含量为10～30wt％，光引发剂的含量为双键封端的含氟聚碳酸酯的5wt％，交联剂和稀释剂为5～25wt％，其余为有机溶剂。由于在双键封端的含氟聚碳酸酯中，大部分氢原子被氟原子取代，其在通讯波段吸收较小。该光刻胶组合物可以在紫外波长200nm～400nm的范围内曝光并成像制作聚合物MZI热‑光开关波导器件。 | ||
| 搜索关键词： | 负性含氟 光刻 组合 用于 制备 mzi 开关 | ||
【主权项】：
1.一种负性含氟光刻胶组合物，其特征在于：由双键封端的含氟聚碳酸酯、光引发剂、交联剂、稀释剂和有机溶剂组成，按重量和100％计算，双键封端的含氟聚碳酸酯的含量为10～30wt％，交联剂和稀释剂的含量为5～25wt％，光引发剂的含量为双键封端的含氟聚碳酸酯的5wt％，其余为有机溶剂；其中，双键封端的含氟聚碳酸酯的结构式是如(1)所示的一系列化合物中的一种，![]()
m为5≤m≤27的整数，n为0≤n≤12的整数；R1是下列结构式中的一种，![]()
R2是下列结构式中的一种，![]()
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