[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波源、中频感应加热器和石英管反应室，微波源与导入微波的矩形波导管连接；石英管反应室呈哑铃结构，矩形波导管套在石英管反应室的细颈处，使矩形波导管与石英管反应室的细颈之间形成微波谐振腔；石英管反应室的上粗颈通过原料气进气装置与原料气源连接；中频感应加热器的线圈围设在石英管反应室的下粗颈处；石英管反应室的下粗颈内设有底座，底座通过可升降的粗陶瓷管与热电偶连接，热电偶上依次设有基板座、基板；底座通过细陶瓷管与石墨台连接。本发明能准确、大范围的控制基板温度，提高微波等离子体的生成质量。

主权项

 一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波源和石英管反应室，其特征在于：所述微波源与导入微波的矩形波导管连接；所述石英管反应室呈哑铃结构，所述矩形波导管套在石英管反应室的细颈处，使所述矩形波导管与石英管反应室的细颈之间形成微波谐振腔；石英管反应室的上粗颈通过原料气进气装置与原料气源连接；石英管反应室的下粗颈的下方设有泵；所述微波等离子体化学气相沉积装置还包括中频感应加热器，所述中频感应加热器的线圈围设在石英管反应室的下粗颈处；所述石英管反应室的下粗颈内设有底座，底座通过可升降的粗陶瓷管与热电偶连接，所述热电偶上设有基板座，基板座上设有基板；所述底座通过细陶瓷管与石墨台连接。