[发明专利]一种智能控制的激光等离子体测量装置及测量方法

摘要

一种智能控制的激光等离子体测量装置及测量方法，装置包括激光器、聚焦透镜、电子显微镜、分束镜和反射镜；真空腔室测量窗口上有测量狭缝；真空腔室内有样品架位移台驱动的正方体样品架；聚焦透镜安于电动平移台上；电子显微镜连计算机；数字脉冲延迟发生器连激光器、移动控制器和函数信号发生器，移动控制器连计算机、电动平移台和样品架位移台。测量时，触发使激光器产生激光脉冲，从左上角开始激光烧蚀样品靶，样品靶按“弓”字型轨迹移动，至激光烧蚀位置到样品靶右下角，激光脉冲烧蚀过程中，对激光等离子体进行空间分辨测量。该测量方法能保证激光等离子体的稳定性，极大的提高激光等离子体实验的可重复性，实现靶材高效利用。

主权项

 一种智能控制的激光等离子体测量装置，其特征在于，包括激光器（1）、能量计（4）、聚焦透镜（6）、计算机（13）、真空腔室（14）以及平行设置的分束镜（2）和反射镜（3），分束镜（2）位于激光器（1）和反射镜（3）之间；真空腔室（14）的侧壁上分别设有第一石英窗（7）、第二石英窗（8）、第三石英窗（10）、真空规管接口（11）、分子泵接口（12）和测量窗口（16），测量窗口（16）上设有测量狭缝（17）；真空腔室（14）内设有正方体样品架（15），正方体样品架（15）与设于真空腔室（14）外的样品架位移台相连接，该样品架位移台可驱动正方体样品架（15）在四维方向上运动；聚焦透镜（6）位于第一石英窗（7）和反射镜（3）之间，聚焦透镜（6）安装于电动平移台（5）上；第二石英窗（8）外设有电子显微镜（9），电子显微镜（9）与计算机（13）相连接；激光器（1）与数字脉冲延迟发生器（21）相连接，数字脉冲延迟发生器（21）分别与移动控制器（18）和函数信号发生器（20）相连，移动控制器（18）还分别与计算机（13）、电动平移台（5）和样品架位移台相连接。