[发明专利]利用蓝宝石碎块制造蓝宝石晶体的引晶工艺在审
申请号: | 201510748321.4 | 申请日: | 2015-11-06 |
公开(公告)号: | CN105506738A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 蔡申;应江辉;鲁永;李陈涛 | 申请(专利权)人: | 浙江露通机电有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏;郑新军 |
地址: | 311822 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及晶体材料加工技术领域,公开了一种利用蓝宝石碎块制造蓝宝石晶体的引晶工艺,包括以下步骤:将籽晶安装到籽晶杆上,蓝宝石碎块装入钨坩埚内后置于泡生炉中,加热至蓝宝石碎块完全熔化,籽晶预热与熔体接触后再分离,然后再进行旋转引晶、扩肩生长、等径生长,最后制成蓝宝石。本发明具有籽晶能够快速与熔体稳定结合,引晶成功率高,制造出的蓝宝石晶体质量提高的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 利用 蓝宝石 碎块 制造 晶体 工艺 | ||
【主权项】:
一种利用蓝宝石碎块制造蓝宝石晶体的引晶工艺,其特征是,包括以下步骤:a、将籽晶安装到籽晶杆上,籽晶杆通过籽晶夹持器夹持,籽晶夹持器内安装水冷却器,蓝宝石碎块装入钨坩埚内后置于泡生炉中,泡生炉内抽真空并通过加热器加热,直到蓝宝石碎块完全熔化形成熔体;b、将籽晶下降到距离熔体液面2‑4mm处预热10‑30min,以2‑4rpm的转速旋转籽晶,同时把籽晶下降至接触熔体液面,等待5‑10min后将籽晶上升到距离液面20‑40mm处,籽晶停止旋转并等待30‑40min;c、籽晶下降至接触熔体液面,以1‑3rpm的转速旋转籽晶进行引晶,加热器保持加热功率的同时开启籽晶夹持器内的水冷却器,控制结晶初始直径在28mm‑30mm,然后进行缩颈引晶,缩颈长度为25mm‑27mm,直径为26.5‑27.5mm;d、缩颈引晶结束后进行扩肩,扩肩直径为43.5‑44.5mm;e、扩肩完成后等径生长,熔体完全生成晶棒后籽晶停止转动。
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