[发明专利]基于倾斜折叠高反镜的外差干涉法滚转角测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于倾斜折叠高反镜的外差干涉法滚转角测量装置及方法，包括双频激光器，双频激光器的光轴后设置有分光片，分光片的反射光路中依次设置有第一偏振片和第一光电探测器，分光片的透射光路依次设置有1/4波片、1/2波片和高反镜，高反镜将首次通过1/2波片的光束反射，使其再次通过1/2波片，1/2波片后依次设置有接收第二次通过1/2波片光束的第二偏振片和第二光电探测器，第一光电探测器和第二光电探测器均连接相位计，相位计连接计算机，本发明不仅利用了1/2波片与高反镜配合使用时对偏振光作用的可叠加性，还利用了倾斜高反镜对偏振光的调制作用，增大了测量系统的放大倍数，提高了滚转角测量的分辨率。

主权项

1.基于倾斜折叠高反镜的外差干涉法滚转角测量装置，其特征在于，包括双频激光器(1)，双频激光器(1)的光轴后设置有分光片(2)，分光片(2)的反射光路中依次设置有第一偏振片(3)和第一光电探测器(4)，分光片(2)的透射光路依次设置有1/4波片(5)、1/2波片(6)和高反镜，高反镜将首次通过1/2波片(6)的光束反射，使其再次通过1/2波片(6)，1/2波片(6)后依次设置有接收第二次通过1/2波片(6)光束的第二偏振片(8)和第二光电探测器(9)，第一光电探测器(4)和第二光电探测器(9)均连接相位计(10)，相位计(10)连接计算机(11)；所述高反镜包括第一高反镜(7a)和第二高反镜(7b)，第一高反镜(7a)和第二高反镜(7b)的夹角为直角，能够将1/2波片(6)的出射光线平行地反射回1/2波片(6)；所述高反镜倾斜布置，使第一高反镜(7a)的入射角为36°。