[发明专利]自动化TEM样本制备

摘要

描述了促进薄片的自动化提取并且将薄片附着到样本格栅以在透射式电子显微镜上进行查看的技术。本发明的一些实施例涉及使用机器视觉来确定薄片、探针和/或TEM格栅的位置，以引导探针到薄片的附着以及薄片到TEM格栅的附着。促进机器视觉的使用的技术包括对探针尖端成形，使得其位置可以易于由图像识别软件来识别。图像相减技术可以用于确定附着到探针的薄片的位置，以将薄片移动到TEM格栅以供附着。在一些实施例中，在探针上或在薄片上研磨参考结构，以促进图像识别。

主权项

一种用于在带电粒子射束系统中的自动化样本制备的方法，包括：将工件装载到以一个或多个带电粒子射束系统和样本操纵探针为特征的真空腔中；对工件上的感兴趣区域进行成像；使用聚焦离子射束移除薄区段周围的材料；移除支撑所述薄区段的材料，留下通过小的附着结构附着到大块工件的所述薄区段；通过使用所述离子射束移除材料来对样本操纵探针的尖端进行成形；使用所述尖端的已知形状来确定所述尖端相对于所述薄区段的位置；使用所述尖端相对于所述薄区段的位置，将所述样本探针自动地移动为紧密接近所述薄区段；将所述样本探针附着到所述薄区段；使用离子射束移除将所述薄区段连接到大块工件的所述支撑结构，使得所述薄区段仅由样本探针来支撑；将附着有所述薄区段的样本探针移动到用于薄区段的样本格栅所位于的区域；对附着有薄区段的样本格栅和探针所位于的区域进行成像；自动移动探针，使得薄区段紧密接近样本格栅；将薄区段附着到样本格栅；以及从薄区段移除样本探针的尖端。