[发明专利]蓝宝石单晶炉真空计防污染装置和真空计模块有效
| 申请号： | 201510750116.1 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN106435716B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张洪涛;宋文君;葛吉虎 | 申请（专利权）人： | 南京晶升能源设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李昊 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种蓝宝石单晶炉真空计防污染装置和真空计模块，其中的蓝宝石单晶炉真空计防污染装置包括壳体、下隔离板、分子筛层，所述壳体下方设置有开口，该开口处设置有下隔离板，在壳体内所述下隔离板的上方设置有分子筛层。通过隔板的作用将单晶炉内的污染物进行物理隔离，同时采用分子筛对通过物理隔离后的污染物进一步进行吸附。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 单晶炉 真空计 污染 装置 模块 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石单晶炉真空计防污染装置，其特征在于，包括壳体(2)、下隔离板(4)、分子筛层(3)，所述壳体(2)下方设置有开口，该开口处设置有下隔离板(4)，在壳体(2)内所述下隔离板(4)的上方设置有分子筛层(3)；壳体(2)上方设置有开口，该开口处设置有上隔离板；在上隔离板(1)上装置有真空计；上隔离板位通过壳体，与下隔离板构成一个笼状装置；下隔离板(4)上设置有若干筛孔；所述分子筛层(3)为若干氧化铝球组成的氧化铝球层，所述上隔离板(1)上设置有筛孔，所述筛孔为圆形筛孔，且该圆形筛孔直径小于所述氧化铝球的直径。
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