[发明专利]一种隧穿纤毛装置有效
| 申请号： | 201510750570.7 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105424300B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 边义祥;孙凯旋;吴志学 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G01M3/40 | 分类号： | G01M3/40 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 唐代盛 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种隧穿纤毛装置，在基板上设置通孔，两个电极分别通过胶粘在所述基板的同一侧上，纤毛穿过通孔与其中一个电极连接，两个电极之间不接触，基板固定在保护罩上。本发明能够实现纳米级位移传感功能，能检测到很小的气体泄露情况，其灵敏度很高、响应很快，并不会像其它检测漏气仪器一样受温度的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 纤毛装置 电极 基板 隧穿 通孔 位移传感功能 电极连接 基板固定 气体泄露 保护罩 不接触 灵敏度 纳米级 检测 漏气 胶粘 纤毛 穿过 响应 | ||
【主权项】：
1.一种隧穿纤毛装置，其特征在于在基板(1)上设置通孔，两个电极(4、6)粘在所述基板(1)的同一侧上，纤毛(2)穿过通孔与其中一个电极(6)连接，两个电极(4、6)之间不接触，基板(1)固定在保护罩(5)上；所述两个电极(4、6)相对应的部位为头部，该头部分别为针尖形状，其余部分为圆柱状、带状或薄膜；所述两个电极(4、6)分别通过胶(3)粘结在基板(1)上，该胶(3)是一种柔性胶，使电极和基板(1)之间留有间隙。
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