[发明专利]一种旋转圆盘产生液滴靶及等离子体的装置

摘要

本发明提出一种用于激光作用的液滴锡靶产生装置。本发明结合锡液滴和旋转圆盘的技术特点，利用旋转圆盘离心力产生锡液滴，实现了液态锡靶在高重复频率下的连续供应。该技术方案一方面克服了现有喷嘴振动法对装置性能的较高要求，另一方面避免了传统旋转圆盘电极法对圆盘转速的限制以及激光作用在圆盘上带来的隐患。这种液滴锡靶产生装置既可应用于激光等离子体(LPP)装置，也可以用于激光诱导放电等离子体(LDP)的装置。基于该液滴锡靶，本发明还提出了一种产生等离子体的装置。

主权项

一种旋转圆盘产生液滴靶的装置，包括旋转圆盘(1)、储锡池(2)、锡液(3)、轴(5)、电机(6)、升降台(7)，其特征在于，所述旋转圆盘(1)安装在盛有锡液(3)的储锡池(2)的一端，部分浸入锡液(3)中；旋转圆盘(1)圆轴中心通过轴(5)与电机(6)的转轴固定连接；所述电机(6)安装在升降台(7)上，通过升降台(7)可以调节旋转圆盘(1)浸入锡液(3)的深度；轴(5)的旋转方向在储锡池(2)液面之下指向储锡池(2)的另一端，以便于旋转带出的液态锡重新回到储锡池(2)中。