[发明专利]一种激光器

摘要

本发明公开了一种激光器，包括半导体激光器、光学整形系统、耦合反射镜、反射镜、平板电极对、放电腔、匹配网络、射频电源、尾镜和输出镜，其特征在于：放电腔内充有工作气体；平板电极对平行对称放置于放电腔内，其表面具有对半导体泵浦激光和输出增益激光的高反射特性；半导体激光为泵浦光，其中心波长与放电腔内工作气体射频放电后的气体粒子吸收谱线相匹配，通过耦合反射镜注入至放电腔内。本发明具有结构紧凑、体积小、放电均匀、泵浦效率高等特点，可以有效防止高功率连续单模激光、高功率皮秒飞秒激光的非线性效应，实现高光束质量、良好的大气与光纤传输特性、高加工效率条件下的中高功率的激光输出。

主权项

1.一种激光器，其特征在于，包括半导体激光器(1)、光学整形系统(2)、平板电极对(3)、耦合反射镜(4)、反射镜(5)、匹配网络(6)、射频电源(7)、放电腔(8)、尾镜(14)和输出镜(15)；所述耦合反射镜(4)和反射镜(5)的反射面相对、分别位于平板电极对(3)之间放电区域的两端面；所述尾镜(14)和输出镜(15)分别位于平板电极对(3)之间放电区域的两个侧面，尾镜(14)、输出镜(15)和放电腔(8)共同组成光学非稳谐振腔，输出镜(15)用于激光束输出；所述耦合反射镜(4)几何形状与反射镜相同，所述耦合反射镜(4)的反射面上开设有透光窗口，用于泵浦光透射进入放电腔；所述透光窗口的大小、形状与泵浦光斑放电腔(8)端面的大小、形状相对应；所述射频电源(7)通过匹配网络(6)与平板电极对(3)连接；所述平板电极对(3)由两块平板电极组成，平行安装于放电腔(8)的内壁两侧，用于对放电腔(8)内的工作气体进行射频放电；所述平板电极对(3)由金属制成，对泵浦光和输出激光有反射作用；所述平板电极对(3)由铝或铜制成，其面向放电区域的表面高度光洁，或镀有一层同时具有对泵浦光和输出激光高反射特性的反射膜(9)；所述平板电极对(3)内部设置有水冷通道；工作中，半导体激光器(1)产生泵浦光，发出的泵浦光经过光学整形系统(2)汇聚成与耦合反射镜(4)的透光窗口相匹配的光斑，透射注入至放电腔(8)中；产生的激光束经输出镜(15)输出。