[发明专利]氮化镓功率器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201510752669.0 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN105355665B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 张葶葶;李亦衡;王东盛;苗操;魏鸿源;严文胜;朱廷刚 | 申请（专利权）人： | 江苏能华微电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/86 | 分类号： | H01L29/86;H01L29/06;H01L21/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215600 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮化镓功率器件及其制备方法，包括：衬底；外延层，其形成于衬底的上表面上，外延层的上部蚀刻形成有多组上凸的外延台阶，多组外延台阶沿径向间隔排列；第一金属层，沿径向间隔排列且与外延台阶交错排列；第二金属层，其包括多组连接部和两组用作外连布线电极的电极部，多组所述连接部分别形成于各组所述外延台阶和各组所述第一金属层的上表面，其中一组所述电极部连通各组所述外延台阶上的连接部，另一组所述电极部连通各组所述第一金属层上的连接部。该氮化镓功率器件不仅在相同功率下降低器件所占面积，而且在高电流驱动下，电流分布均匀、消除由局部区域的电流拥挤导致的器件过热。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 功率 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氮化镓功率器件，其特征在于，包括：衬底；外延层，其形成于所述衬底的上表面上，所述外延层的上部蚀刻形成有多组上凸的外延台阶，多组所述外延台阶沿径向间隔排列；第一金属层，其为多组，多组所述第一金属层沿径向间隔排列且与所述外延台阶交错排列，各所述第一金属层与所述外延台阶间具有间隙，所述间隙填充有钝化层；以及第二金属层，其沉积形成所述钝化层的上表面、外沿台阶的上表面及所述第一金属层的上表面上，通过刻蚀在所述钝化层的上表面形成两组相互隔离的电极部，所述外沿台阶的上表面、所述第一金属层的上表面上分别形成有连接部，所述第二金属层包括多组所述连接部和两组用作外连布线电极的所述电极部，多组所述连接部分别形成于各组所述外延台阶和各组所述第一金属层的上表面，其中一组所述电极部连通各组所述外延台阶上的连接部，另一组所述电极部连通各组所述第一金属层上的连接部，两组所述电极部呈交叉指状；其中，所述外延层包括形成于所述衬底上的N+氮化镓外延层、形成于所述N+氮化镓外延层上的N‑氮化镓外延层，向下蚀刻所述N‑氮化镓外延层至所述N+氮化镓外延层的上表面形成所述外延台阶；所述第一金属层沉积在所述N+氮化镓外延层的上表面。
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