[发明专利]形状测定装置以及形状测定方法

摘要

本发明提供一种形状测定装置以及形状测定方法。形状测定装置具备包括具有前端球的测针和安装有测针的测头主体的仿形测头、支承仿形测头并被设置为能够移动的滑动件、检测滑动件的移动量的标尺部、检测前端球的位移量的前端球位移检测部以及使用滑动件移动量、前端球位移量以及校正用过滤器来计算测定值的运算部，运算部具有校正用过滤器设定单元，该校正用过滤器设定单元使用通过仿形测头的校准处理检测出的滑动件移动量和前端球位移量来计算校正矩阵的对角成分，基于该对角成分计算校正用过滤器的校正系数，从而对校正用过滤器进行设定。

主权项

1.一种形状测定装置，其特征在于，具备：仿形测头，其具有测针以及安装有所述测针的测头主体，该测针在前端具有与被测定物接触的前端球；滑动件，其支承所述仿形测头，并被设置为能够移动；标尺部，其检测所述滑动件的移动量；前端球位移检测部，其检测所述仿形测头的所述前端球相对于所述滑动件的支承部的位移量，所述滑动件的支承部是所述滑动件支承所述仿形测头的部分；以及运算部，其根据由所述标尺部检测出的所述移动量、由所述前端球位移检测部检测出的所述位移量以及校正测定误差的校正用过滤器来计算测定值，其中，所述运算部具有校正用过滤器设定单元，该校正用过滤器设定单元使用通过校准基准体的测定而由所述标尺部检测出的所述移动量和由所述前端球位移检测部检测出的所述位移量，来计算将所述位移量与所述标尺部的坐标系进行关联的校正矩阵的对角成分，基于所述校正矩阵的对角成分计算所述校正用过滤器的校正系数，从而对所述校正用过滤器进行设定。