[发明专利]光刻投影物镜热效应评估方法

摘要

光刻投影物镜热效应评估方法，涉及深紫外光刻投影物镜像质评估领域，解决了现有方法存在的物镜热效应评价不精确、分析过程繁琐的问题。该方法为：采用有限元方法或有限体积法进行热仿真，输出物镜中每片透镜上的各个网格节点的空间坐标以及各个网格节点的温度值；获取每条追迹光线在每片透镜入射表面和出射表面的坐标及在出射光瞳上的坐标，得到原始光学系统每条追迹光线的光程差；根据每条追迹光线的实际传播路径和每片透镜的温度分布，采用数值积分方法计算得到每条追迹光线由透镜折射率变化引入的光程差；将每条追迹光线由透镜折射率变化引入的光程差叠加到原始光学系统相对应的追迹光线的光程差中。本发明物镜热效应评估精确，分析过程简单。

主权项

光刻投影物镜热效应评估方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、光刻投影物镜温度分布的计算根据光刻投影物镜的曝光工况、热仿真边界条件以及光刻投影物镜材料属性，采用有限元方法或有限体积法进行热仿真，输出光刻投影物镜中每片透镜上的各个网格节点的空间坐标以及各个网格节点的温度值；步骤二、光刻投影物镜光学系统的光线追迹根据光刻投影物镜光学系统的参数，对各个视场点进行光线追迹；获取每条追迹光线在每片透镜入射表面和出射表面的空间坐标以及在出射光瞳上的空间坐标，同时计算出每条追迹光线与理想波面之间的光程差，得到原始光学系统每条追迹光线的光程差；步骤三、透镜折射率变化引入光程差的计算根据步骤二获得的每条追迹光线的实际传播路径，结合步骤一获得的光刻投影物镜中每片透镜的温度分布，采用数值积分方法计算得到每条追迹光线由透镜折射率变化引入的光程差；步骤四、光刻投影物镜热效应像质评估将步骤三获得的每条追迹光线由透镜折射率变化引入的光程差叠加到步骤二获得的原始光学系统相对应的追迹光线的光程差中，计算光刻投影物镜光学系统的波像差和畸变，获得光刻投影物镜热效应下的像质变化。