[发明专利]一种氮硼钛/氮硅铝钛纳米复合多层涂层刀具及其制备方法在审
| 申请号： | 201510756629.3 | 申请日： | 2015-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN105256273A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 韩滨;田灿鑫;付德君 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/28 |
| 代理公司： | 武汉华旭知识产权事务所 42214 | 代理人： | 刘天钰 |
| 地址： | 443500 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氮硼钛/氮硅铝钛纳米复合多层涂层刀具，至少包括刀具基体，所述的刀具基体上由内至外依次附着有过渡层和耐磨层，过渡层为TiN，耐磨层由TiBN层和TiAlSiN层交替复合构成。本发明同时还提供了上述刀具的制备方法，在进行涂层之前先沉积一层过渡层，过渡层可以极大的提高涂层的附着力；然后在一定条件下沉积纳米复合多层涂层，通过控制工件架转速和氮气气压,来实现多层复合薄膜调制周期的变化，以调节一个双层周期的厚度。本发明所制备TiBN/TiAlSiN纳米复合多层涂层刀具有良好的结合力和耐磨、耐高温性能，保证了刀具长期稳定工作，使刀具机械性能大幅度提高，提高生产效率，降低厂家的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮硼钛 氮硅铝钛 纳米 复合 多层 涂层 刀具 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氮硼钛/氮硅铝钛纳米复合多层涂层刀具，至少包括刀具基体，其特征在于：所述的刀具基体上由内至外依次附着有过渡层和耐磨层，过渡层和耐磨层的总厚度为0.5～4μm，过渡层为TiN，过渡层厚度为100～200nm，耐磨层由TiBN层和TiAlSiN层交替复合构成。
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