[发明专利]纳米线巨压阻特性测量装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201510758072.7 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN105223421A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 张加宏;赵阳;李敏;杨敏 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R3/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 母秋松;董建林 |
| 地址： | 210044 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米线巨压阻特性测量装置，包括：纳米线、铂电阻温度传感器、电热致动器、基于电容测量的位移传感器、电极、基于电容测量的负荷传感器，所述铂电阻温度传感器、电热致动器、基于电容测量的位移传感器、基于电容测量的负荷传感器依次连接，所述电极数量设置为四个，所述四个电极设置在基于电容测量的位移传感器与基于电容测量的负荷传感器之间，两个水平放置的电极之间设置有纳米线，所述纳米线上下两侧均设置有电极。本发明提供的纳米线巨压阻特性测量装置及其制造方法，实现纳米线的机械特性与电气特性的同时测量，从而完成压阻系数的表征，可适用于多种不同测量样本。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 线巨压阻 特性 测量 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米线巨压阻特性测量装置，其特征在于：包括：纳米线、铂电阻温度传感器、电热致动器、基于电容测量的位移传感器、电极、基于电容测量的负荷传感器，所述铂电阻温度传感器、电热致动器、基于电容测量的位移传感器、基于电容测量的负荷传感器依次连接，所述电极数量设置为四个，所述四个电极设置在基于电容测量的位移传感器与基于电容测量的负荷传感器之间，两个水平放置的电极之间设置有纳米线，所述纳米线上下两侧均设置有电极。
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