[发明专利]一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法

摘要

本发明公开一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法，是在基于专利《一种氧化钼纳米纤维纸及其制备方法》（201510308204.6）制得的氧化钼纳米纤维纸的一侧面溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列方法，包括：在氧化钼纳米纤维纸上覆盖金属掩膜版，再在磁控真空溅射设备内溅射Pt/Pd纳米颗粒阵列构成电极，将溅射后的纳米纤维纸从中间切断即成为二个性能相同的氢敏元件，将氢敏元件封装到IC基座中即为氢气传感器成品。不同材质纳米颗粒、不同溅射时间及溅射功率，可制得不同响应和恢复时间的传感器。所述传感器制造工艺简单、耗能低、成本低，能在常温下工作，响应和恢复时间短、灵敏度高，稳定性好，寿命长且能重复利用，所述氢敏元件还便于集成在各种多路传感器中。

主权项

一种氧化钼纳米纤维纸氢气传感器的制备方法，是在覆盖有金属掩膜版的氧化钼纳米纤维纸上溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列构成导电电极方法；所述制备方法包括步骤：⑴取设定尺寸的氧化钼纳米纤维纸；⑵选取设定尺寸的溅射金属掩膜版，所述掩膜版上有12对叉指电极，并将金属掩膜版覆盖在所述氧化钼纳米纤维纸上，构成基片；⑶在所述基片上溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列，制得带导电电极的氢气传感器；⑷溅射完成后，揭去金属掩膜版，将溅射Pt/Pd纳米颗粒阵列后的氧化钼纳米纤维纸沿长度方向自中部切断，成为二个性能相同的氢敏元件,再将二个氢敏元件分别封装到二个IC基座中，即加工出二个性能相同的氢气传感器；其特征在于：步骤⑶所述的在基片上溅射金属Pt/Pd纳米颗粒阵列的工艺过程，按如下方法进行：将基片置于真空磁控溅射设备的溅射室内，抽真空至真空度达到10^‑4量级时，再向溅射室内充保护气体；通过流量调节装置控制充入保护气体的流量为(10～15)sccm；当真空磁控溅射设备的真空度为（3～5）Pa时，打开直流溅射总电源使目标靶能逐渐起辉，起辉后，再逐渐放缓抽气速度，使真空磁控溅射设备的真空度为（0.5～1）Pa；溅射Pt或者是Pd电极，设定溅射功率为（70～80）W，溅射时间为（60～100）s。