[发明专利]一种测试垫布局结构及电性测试方法在审
| 申请号： | 201510761982.0 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN106680547A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 彭军 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201506 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体检测领域，尤其涉及一种测试垫布局结构及电性测试方法。该测试垫布局结构主要针对测试探针的扎针距离而设定，主要通过将测试垫布局结构分为N组，各组中的测试垫相邻距离均为A，且任意一组的相邻测试垫间均具设置有剩余组中其他测试垫，进而使测试垫结构中的相邻测试垫间的间距体现为A/N，一定程度上减少了测试垫占据的外围空间，符合器件窄边框的要求，同时适用于密集型线路的电性测试中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 垫布 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种测试垫布局结构，应用于利用测试探针对待测试器件进行的电性测试中，其特征在于，包括：若干根互相平行的测试垫，设置于所述待测试器件上；以及若干探针扎针垫，分别交错排列设置于每根所述测试垫上；其中，利用一组所述测试探针扎于所述探针扎针垫上以对所述待测试器件进行电性测试时，相邻的所述测试垫之间的间距与两相邻的所述测试垫宽度之和小于一组所述测试探针的扎针位置之间的距离，且一组所述测试探针至少包括2根所述测试探针。
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