[发明专利]一种铬管靶材的绑定方法在审
| 申请号： | 201510762127.1 | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN106676484A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 石刚;谢飞;崔子振;崔鹏;黄国基 | 申请（专利权）人： | 航天长征睿特科技有限公司;航天材料及工艺研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 核工业专利中心11007 | 代理人： | 任超 |
| 地址： | 300450 天津市静海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磁控溅射镀膜用铬管靶材的绑定方法。该方法包括在铬管靶材的背管外表面采用电镀工艺制备金属涂层作为绑定层；利用热等静压工艺使铬管靶材层通过绑定层与背管达到冶金结合，实现铬管靶材的绑定。本发明所述的铬管靶材的绑定方法可以使铬管靶材层通过绑定层与背管实现冶金结合，把铬管靶材层在溅射镀膜过程中产生的热量及时传递到背管内冷却，防止铬管靶材层出现开裂，保证溅射镀膜顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铬管靶材 绑定 方法 | ||
【主权项】：
一种铬管靶材的绑定方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：绑定层的制备将包套背管(3)清洗后进行预镀镍处理，然后通过电镀工艺制备金属涂层作为绑定层2；步骤二：真空除气将铬粉或铬管坯料填充至绑定层(2)外表面与包套外管(1)内表面形成的空间中，然后进行真空除气；步骤三：热等静压将步骤二真空除气后的包套外管(1)进行热等静压，使绑定层(2)与包套背管(3)实现冶金结合；步骤四：机械加工将步骤三热等静压后的包套(1)采用机械加工的方法去除包套外管(1)，即获得与包套背管(3)绑定的铬管靶材。
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