[发明专利]一种倒置结构太阳能电池制作方法

摘要

本发明公开一种倒置结构太阳能电池制作方法，包括以下步骤：在外延衬底上自下而上依次生长多层子电池，该多层子电池由下至上带隙依次减小；在带隙最小的子电池表面掩膜、光刻、ICP蚀刻形成网格状凹槽结构；在刻蚀后的外延片上蒸镀金属形成栅格层，在导电衬底表面蒸镀金属，并采用键合技术将二者紧密连接；采用化学腐蚀法将外延衬底去除，露出带隙最大的子电池表面；在带隙最大的子电池表面形成金属纳米岛，采用掩膜、光刻、蚀刻出栅线位，并蒸镀金属形成电极；在带隙最大的子电池表面蒸镀介质膜，覆盖电极与金属纳米岛，形成减反射膜。本发明可以降低电池表面对光线的反射率，增加光线在电池内部的传播距离，增强光线吸收，提高转化效率。

主权项

一种倒置结构太阳能电池制作方法，其特征在于：包括以下步骤：一，在外延衬底上自下而上依次生长多层子电池，该多层子电池由下至上带隙依次减小；二，在带隙最小的子电池表面掩膜、光刻、ICP蚀刻形成网格状凹槽结构；三，在刻蚀后的外延片上蒸镀金属形成栅格层，在导电衬底表面蒸镀金属，并采用键合技术将二者紧密连接；四，采用化学腐蚀法将外延衬底去除，露出带隙最大的子电池表面；五，在带隙最大的子电池表面采用掩膜、光刻、蚀刻出栅线位，并蒸镀金属形成电极。