[发明专利]磁计量装置及其制造方法以及气室及其制造方法在审
申请号: | 201510765585.0 | 申请日: | 2015-11-11 |
公开(公告)号: | CN105607014A | 公开(公告)日: | 2016-05-25 |
发明(设计)人: | 藤井永一 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆;纪秀凤 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够稳定且高精度地进行计量的磁计量装置及其制造方法以及气室及其制造方法。磁计量装置(100)包括气室(10),该气室(10)具备:腔室部(12),其具有主室(14)、贮存部(16)、连通主室和贮存部的连通孔(15)以及设于贮存部的开口部(18);密封部(19),其密封开口部;安瓿(20),其配置于贮存部;以及碱金属气体(13),其填充于主室和贮存部内,安瓿配置于贮存部(16)中的规定的位置,开口部设于离开规定的位置。 | ||
搜索关键词: | 计量 装置 及其 制造 方法 以及 | ||
【主权项】:
一种磁计量装置,其特征在于,所述磁计量装置用于计量磁场,包括气室,该气室具备:腔室部,其具有第一室、第二室、连通所述第一室和所述第二室的连通孔以及设于所述第二室的开口部;密封部,其密封所述开口部;安瓿,其配置于所述第二室;以及碱金属的气体,其填充于所述第一室和所述第二室内,所述安瓿配置于所述第二室中的规定的位置,所述开口部设于离开所述规定的位置的位置。
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