[发明专利]一种掺杂钛酸锶薄膜型热电偶在审
申请号: | 201510771506.7 | 申请日: | 2015-11-12 |
公开(公告)号: | CN105444911A | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 史鹏;任巍;田边;蒋庄德 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01K7/04 | 分类号: | G01K7/04 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种掺杂钛酸锶薄膜型热电偶,是采用两组不同掺杂钛酸锶薄膜作为热电偶的热电极材料,采用磁控溅射、丝网印刷或者化学旋涂工艺,在高温陶瓷基片上沉积制备可用于高温温度测量的掺杂钛酸锶氧化物薄膜热电偶。该薄膜热电偶采用直接贴装或者涂覆在陶瓷基片表面,可用于高温氧化气氛中的温度测量,能够在1200℃-1500℃高温下长期稳定工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 掺杂 钛酸锶 薄膜 热电偶 | ||
【主权项】:
一种掺杂钛酸锶薄膜型热电偶,其特征在于,包括设置在陶瓷基片上的两个热电极,两个热电极的材料分别为两种不同元素掺杂的钛酸锶薄膜;或者两个热电极的材料均为同种元素掺杂的钛酸锶薄膜,且两个热电极中元素掺杂含量不同。
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