[发明专利]苯并三唑衍生物缓蚀剂及其制备方法和应用在审
申请号: | 201510771966.X | 申请日: | 2015-11-12 |
公开(公告)号: | CN105239077A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 左翔;曹冬梅;蒋裕丰;胡鑫;迟挺 | 申请(专利权)人: | 南京河海科技有限公司 |
主分类号: | C23F11/16 | 分类号: | C23F11/16 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张华蒙 |
地址: | 210019 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了苯并三唑衍生物缓蚀剂,属于缓蚀剂技术领域,其具有以下通式I结构的化合物: |
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搜索关键词: | 衍生物 缓蚀剂 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
苯并三唑衍生物缓蚀剂,其特征在于:其具有以下通式I结构的化合物:
其中,式(I)中:取代基R代表为C10~C18的烷基。
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