[发明专利]一种原子发生器

摘要

本发明公开了一种原子发生器，包括真空法兰、气体引入模块、加热模块、隔热模块、冷却模块和出口模块，气体引入模块包括供气源、真空微调阀和供气管；加热模块包括电源、钨毛细管和钨加热子；隔热模块包括固定安装在所述真空法兰上的钼隔热层；冷却模块包括套接在所述钼隔热层上的冷却套；出口模块包括设置在钨毛细管下方的出口支座，出口支座固定安装在钼隔热层上，其上设置有锥状内孔，锥状内孔的中心线与所述钨毛细管的中心线同线并且其顶端的直径小于其底端的直径。本原子发生器在原子出口处添加了一个有锥状内孔的出口支座，增加原子在小极角的流量密度，抑制原子在大极角的流量密度，改善出口处的原子束的角分布，提高原子利用率。

主权项

一种原子发生器，其特征在于，包括真空法兰、气体引入模块、加热模块、隔热模块、冷却模块和出口模块，其中，所述气体引入模块包括从上至下依次设置的供气源、真空微调阀和供气管，所述供气源通过所述真空微调阀与所述供气管连接，所述供气管竖直设置，其贯穿所述真空法兰并固定安装在所述真空法兰上；所述加热模块包括电源、钨毛细管和钨加热子，所述电源通过电引入法兰与所述真空法兰连接，所述钨毛细管竖直设置，所述钨毛细管的上端固定连接在所述供气管的下端并且钨毛细管和供气管的内腔连通，所述钨加热子通过所述电源供电，其套接在所述钨毛细管的外侧，以用于对所述钨毛细管加热；所述隔热模块包括固定安装在所述真空法兰上的钼隔热层，所述钼隔热层中空且整体呈圆柱形，所述钨毛细管和所述钨加热子均伸入所述钼隔热层的内腔；所述冷却模块包括套接在所述钼隔热层上的冷却套，所述冷却套上设置有冷却水道；所述出口模块包括设置在所述钨毛细管下方的出口支座，所述出口支座固定安装在所述钼隔热层上，其上设置有上小下大的、作为原子出口的锥状内孔，所述锥状内孔的中心线与所述钨毛细管的中心线同线。