[发明专利]一种发光表面有周期性图案的高光效倒装LED的制作方法

摘要

一种发光表面有周期性图案的高光效倒装LED的制作方法，涉及LED生产技术领域，本发明通过在硅衬底上蒸镀AlN，然后刻蚀出图形，再在图形上生长氮化物材料，最终做成倒装的LED器件且剥离掉硅衬底，使背发射LED芯片达到了提高出光效率的效果。

主权项

1.一种发光表面有周期性图案的高光效倒装LED的制作方法，包括在Si衬底上制作外延层，并制作电极，然后将具有电极的器件倒装在永久基板上，并去除Si衬底；其特征在于先在Si衬底上蒸镀厚度为10～200nm的AlN薄膜，并在AlN薄膜上刻蚀出周期性图形，周期性图形的凹槽部分为Si 衬底，凸起部分为AlN薄膜，所述凹槽部分的刻蚀深度为500nm～5000nm；然后再依次制作由合并层、第一N 型GaN 层、AlyGa1‑yN缺陷阻隔层、第二N 型AlmInnGa1‑m‑nN层、多量子阱发光有源层和P 型空穴供给层构成的外延层，在制作外延层的合并层时，以三甲基铝为铝源，以三甲基镓为镓源，采用50mbar～500mbar的低压和500～10000的高Ⅴ/Ⅲ生长形成表面平整的外延层；所述外延层中的合并层中具有孔洞，各孔洞一一对应于所述具有周期性图形的凹槽部分；在去除Si衬底时，采用由等体积的HF、HNO3和CH3COOH混合组成的溶液，露出AlN薄膜和AlGaN层交替的周期图形表面。