[发明专利]静电除去装置和静电除去方法

摘要

本发明提供静电除去装置和静电除去方法。提供一种能够可靠地防止由静电产生的放电现象并且能够防止异物吸附的静电除去装置。将用于防止静电的电离器（2）设置在固定用工作台（1）的背面（1b）侧，所述静电是在利用分离机构（3）将背面（Wb）为平滑面状的工件（W）从固定用工作台（1）的表面（1a）分离时产生的，所述静电除去装置构成为使来自电离器（2）的离子流经由贯通设置在固定用工作台（1）中的孔（11）向形成在固定用工作台（1）的表面（1a）与工件（W）的背面（Wb）之间的间隙空间部（J）喷出。

主权项

一种静电除去装置，用于除去静电，所述静电是在从背面（Wb）为平滑面状的工件（W）所载置的固定用工作台（1）的表面（1a）分离所述工件（W）时产生的，所述静电除去装置的特征在于，用于从上述表面（1a）分离上述工件（W）的分离机构（3）具备：提升销（31）、电动致动器（32）、连结该电动致动器（32）和上述提升销（31）的连结部件（33），在配设于上述固定用工作台（1）的背面（1b）侧的上述连结部件（33）上设置电离器（2），且该电离器（2）具备能够插通在贯通设置于上述固定用工作台（1）的孔（11）中的离子流喷出用圆筒状的喷嘴（20）、以及配设在该喷嘴（20）的下部的电极针（21），在从上述表面（1a）分离上述工件（W）时，将从配置在上述喷嘴（20）的下部的上述电极针（21）交替地产生的正离子和负离子作为上述离子流向形成在上述表面（1a）与上述工件（W）的背面（Wb）之间的间隙空间部（J）喷出，所述喷嘴（20）以与工件分离速度相同的速度插通至上述孔（11）中。