[发明专利]金刚石膜涂层设备用的精确进气装置

摘要

本发明涉及一种金刚石膜涂层设备用的精确进气装置，包括步进电机、传动带、滚珠丝杆、丝杆螺母、固定座、滑块、连杆、注射头，所述电机通过传动带带动滚珠丝杆，所述滚珠丝杆上装有丝杆螺母，所述丝杆螺母固定在滑块上，所述滑块与固定座成滑动连接，所述滑块上端装有连杆和注射头。本发明结构简单、定位准确、调节方便，可精确控制氩气、氢气与甲烷等气体按设定的体积注射到设备反应室。

主权项

金刚石膜涂层设备用的精确进气装置，其特征在于：它包括步进电机、大带轮、小带轮、传动带、滚珠丝杆、丝杆螺母、固定座、滑块、连杆、注射头，所述电机输出上装有大带轮，所述大带轮通过传动带与小带轮相连，所述小带轮安装在滚珠丝杆上端，所述滚珠丝杆上装有丝杆螺母，所述丝杆螺母固定在滑块上，所述滑块与固定座成滑动连接，所述滑块上端装有连杆，所述连杆下端装有注射头。