[发明专利]研磨装置与研磨方法在审
| 申请号： | 201510776337.6 | 申请日： | 2015-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN106670956A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 蔡进晃;洪瑞宏;庄千莹 | 申请（专利权）人： | 力晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/08;B24B37/26;B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种研磨装置与研磨方法。该研磨装置包括：研磨台以及研磨垫。研磨台具有第一中心位置。研磨垫配置于研磨台上，其具有第二中心位置。研磨垫包括研磨层以及多个环状沟槽。环状沟槽位于研磨层中，其以第二中心位置为中心呈现同心排列。第一中心位置与第二中心位置之间具有第一距离。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，包括：研磨台，具有一第一中心位置；以及研磨垫，配置于该研磨台上，其具有一第二中心位置，该研磨垫包括：研磨层；以及多个环状沟槽，位于该研磨层中，其以该第二中心位置为中心呈现同心排列，其中该第一中心位置与该第二中心位置之间具有一第一距离。
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