[发明专利]半导体气敏元件的测试方法在审
| 申请号： | 201510776873.6 | 申请日： | 2015-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN105259215A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 杜海英;孙炎辉;王述刚 | 申请（专利权）人： | 大连民族大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G06N3/02 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 胡景波 |
| 地址： | 116600 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种半导体气敏元件的测试方法，属于元件测试领域，用于解决现有半导体气敏元件测试方法不完善的问题，技术要点是：具有：半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤，及对半导体气体传感器测试系统及半导体气敏元件性能分析的步骤。效果是：使得对于半导体气敏元件的测试环境、测试精度提供有力保障。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体气敏元件的测试方法，其特征在于，具有：半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤，及对半导体气体传感器测试系统及半导体气敏元件性能分析的步骤。
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