[发明专利]一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法在审
| 申请号： | 201510778395.2 | 申请日： | 2015-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN105256278A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 胡晓君;曹屿;陈建清 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C16/27 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 黄美娟;王晓普 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，包括以下步骤：(1)利用直流磁控溅射技术在不锈钢表面沉积连续致密的铬过渡层；(2)采用热丝化学气相沉积技术在步骤(1)获得的铬过渡层表面制备金刚石薄膜。本发明采用铬过渡层经热丝化学气相沉积方法成功在不锈钢基底上制备出连续致密的金刚石薄膜，且薄膜完全没有脱落；制备的薄膜具有较好的附着力，为实现金刚石涂层在以不锈钢为基材的产品上的应用提供了技术上的可能，具有较高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 不锈钢 表面 制备 金刚石 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：(1)利用直流磁控溅射技术在不锈钢表面沉积连续致密的铬过渡层；(2)采用热丝化学气相沉积技术在步骤(1)获得的铬过渡层表面制备金刚石薄膜。
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