[发明专利]被加工物的磨削方法

摘要

本发明提供被加工物的磨削方法，能够使多个被加工物的整体平坦。同时对多个被加工物进行磨削加工的被加工物的磨削方法具有：被加工物粘贴工序，将多个被加工物粘贴在保持部件上；保持工序，通过卡盘工作台对粘贴在保持部件上的多个被加工物进行保持；以及磨削工序，使磨轮与多个被加工物接触，同时对多个被加工物进行磨削加工，磨轮具有圆盘状的轮基座、呈环状排列在轮基座的第一面上的多个第一磨削磨具、以及在多个第一磨削磨具的半径方向内侧与多个第一磨削磨具成同心圆状排列的多个第二磨削磨具，多个第一磨削磨具和多个第二磨削磨具在半径方向上的间隔比相邻的被加工物的最小间隔大。

主权项

一种被加工物的磨削方法，其是使用磨削装置同时对多个板状的被加工物进行磨削加工的磨削方法，所述磨削装置具有：对该被加工物进行保持的卡盘工作台；和安装有对该被加工物进行磨削加工的磨轮的磨削构件，其特征在于，所述被加工物的磨削方法具有：被加工物粘贴工序，将多个被加工物粘贴在保持部件上；保持工序，通过该卡盘工作台对粘贴在该保持部件上的多个该被加工物进行保持；以及磨削工序，使该磨轮与多个该被加工物接触，同时对多个该被加工物进行磨削加工，该磨轮具有：圆盘状的轮基座；呈环状排列在该轮基座的第一面上的多个第一磨削磨具；以及在该多个第一磨削磨具的半径方向内侧与该多个第一磨削磨具成同心圆状排列的多个第二磨削磨具，该多个第一磨削磨具和该多个第二磨削磨具在该半径方向上的间隔比相邻的该被加工物之间的最小间隔大。