[发明专利]一种基于紫外拉曼光谱的测试压电效应的方法有效

专利信息
申请号: 201510783302.5 申请日: 2015-11-16
公开(公告)号: CN106707044B 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 顾泓;周桃飞;田飞飞;郑树楠;张志强;王建峰;徐科 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: G01R29/22 分类号: G01R29/22;G01N21/65
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于紫外拉曼光谱的测试压电效应的方法,包括:在压电试块的上下表面分别制备上金属膜和下金属膜,得到膜层压电试块;测试膜层压电试块的第一拉曼光谱;以上金属膜和下金属膜为电极,向膜层压电试块施加电压,并测试膜层压电试块的第二拉曼光谱;根据第一拉曼光谱中第一E2(high)峰和第二拉曼光谱中第二E2(high)峰之间的水平间距,计算压电试块的应力大小;其中,用于测试膜层压电试块的第一拉曼光谱和第二拉曼光谱的激发光源均为紫外激光。根据本发明的方法以紫外激光作为激发光源获得压电试块的上表面的拉曼信号,避免了拉曼测试对压电试块的厚度的要求;同时上金属膜的设置还避免了该压电试块的表面态所引起的能带弯曲等不良影响。
搜索关键词: 试块 压电 拉曼光谱 金属膜 测试膜 紫外拉曼光谱 激发光源 压电效应 紫外激光 测试 膜层 拉曼信号 上下表面 施加电压 电极 表面态 上表面 制备
【主权项】:
1.一种基于紫外拉曼光谱的测试压电效应的方法,其特征在于,包括:在压电试块的上下表面分别制备上金属膜和下金属膜,得到膜层压电试块;其中,所述上金属膜的厚度为5nm~20nm;测试所述膜层压电试块的第一拉曼光谱,获得第一E2(high)峰的水平位置;其中,用于测试所述膜层压电试块的激发光源为紫外激光;以所述上金属膜和下金属膜为电极,向所述膜层压电试块施加电压,并测试所述膜层压电试块的第二拉曼光谱,获得第二E2(high)峰的水平位置;其中,用于测试所述膜层压电试块的激发光源为紫外激光;根据所述第一E2(high)峰的水平位置和所述第二E2(high)峰的水平位置之间的水平间距,计算所述压电试块的应力大小;所述压电试块的材料具有六方硫化锌型结构,所述压电试块的材料的化学式为XmY1‑mZ,其中,m的取值范围为0~1,且X原子和Y原子的相对原子质量均大于Z原子的相对原子质量;所述第一E2(high)峰是指所述膜层压电试块中两个相邻的Z原子之间的相对振动峰,所述第二E2(high)峰是指向所述膜层压电试块施加电压时,所述膜层压电试块中两个相邻的Z原子之间的相对振动峰。
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