[发明专利]一种在OVD沉积过程中保护喷灯导轨的装置及方法在审
| 申请号： | 201510785361.6 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105271701A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;何炳;向德成;钱昆;田锦成;贺程程 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在OVD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，包括L型气封结构、挡板、滑动模块和喷灯基座；挡板设置在所述喷灯导轨一侧；L型气封结构短立臂设置在喷灯导轨异于挡板的一侧，其长卧臂朝挡板方向横穿入喷灯基座；长卧臂朝向挡板的一端设有一排气封端面小孔，在挡板朝向所述L型气封结构的一侧对应气封端面小孔的位置设有一排挡板端面小孔；挡板与长卧臂间留有气帘间隙；气封端面小孔均与L型气封结构上设置的气封氮气接口连通；挡板端面小孔均与挡板上设置的挡板氮气接口连通；喷灯基座内设有与喷灯连通的气体管路。本发明能保护喷灯导轨不被腐蚀，保证喷灯导轨精度，减少产品的不合格率或报废率，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ovd 沉积 过程 保护 喷灯 导轨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种在OVD沉积过程中保护喷灯导轨的装置，其特征在于：包括L型气封结构、挡板、以及滑动安装在喷灯导轨上的滑动模块、以及安装在滑动模块上的喷灯基座；所述挡板设置在所述喷灯导轨一侧；所述L型气封结构的短立臂设置在所述喷灯导轨异于设置有挡板的一侧，其长卧臂朝所述挡板方向横穿入所述喷灯基座的凹槽内；所述长卧臂朝向挡板的一端设有一排气封端面小孔，在所述挡板朝向所述L型气封结构的一侧对应所述气封端面小孔的位置设有一排挡板端面小孔；所述挡板与所述长卧臂之间留有气帘间隙；所述气封端面小孔均与所述L型气封结构上设置的气封氮气接口连通；所述挡板端面小孔均与所述挡板上设置的挡板氮气接口连通；所述喷灯基座内设有与所述喷灯连通的气体管路。
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