[发明专利]一种低粘度高热导率碳化硅切割液在审
| 申请号： | 201510787921.1 | 申请日： | 2015-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN105385491A | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 陈斌 | 申请（专利权）人： | 江苏金晖光伏有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/06 |
| 代理公司： | 无锡大扬专利事务所(普通合伙) 32248 | 代理人： | 张望远 |
| 地址： | 225600 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低粘度高热导率碳化硅切割液，按质量份数计包括以下组份：去离子水100份；聚乙二醇70～120份；甘油2～20份；表面活性剂1～5份；硅酸盐0.5～2份；邻苯二甲酸胺二乙酯5～20份；环氧大豆油5～40份。本发明具有更优秀的润滑性能，能提高硅片的切割精度，并降低切割液的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘度 高热 碳化硅 切割 | ||
【主权项】：
一种低粘度高热导率碳化硅切割液，其特征在于，按质量份数计包括以下组份：去离子水 100份；聚乙二醇 70～120份；甘油 2～20份；表面活性剂 1～5份；硅酸盐 0.5～2份；邻苯二甲酸胺二乙酯 5～20份；环氧大豆油 5～40份。
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