[发明专利]用于监测污染物的系统和方法

摘要

用于监测污染物的系统包括适合于提供与从室排出的净化气体混合的含湿气螯合气体的含湿气螯合气体供应器、适合于将包括含湿气螯合气体和净化气体的混合气体冷凝成液滴的冷却设备、适合于将液滴收集在采样管壁上和混合气体中的冲击式采样器以及导电率计。液滴溶解在冲击式采样器中的DI水中，并且导电率计测量包括冲击式采样器中的液滴和DI水的液体的导电率。具有污染物的液体的导电率高于没有污染物的液体的导电率，从而可以选择被污染的室。本发明的实施例还涉及用于监测污染物的方法。

主权项

1.一种晶圆容纳装置，包括：室，适合于将晶圆包含在内并且包括通气出口；净化气体排气设备，连接至所述通气出口以用于从所述室排出净化气体；含湿气螯合气体供应器，适合于提供与从所述室排出的所述净化气体混合的含湿气螯合气体；冷却设备，适合于将包括所述含湿气螯合气体和所述净化气体的混合气体冷凝成液滴；以及冲击式采样器，适合于收集所述液滴；其中，所述含湿气螯合气体包括湿气、洁净室空气和多种螯合剂。