[发明专利]改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构在审
申请号: | 201510789813.8 | 申请日: | 2015-11-17 |
公开(公告)号: | CN105239155A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;张学军;袁志勇 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明提供了一种改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构。它包括炉体、炉体底座、上下体总成和用于提拉旋转籽晶杆的支架结构,上下体总成包括上体和下体,支架结构包括两端同步升降的龙门支架,龙门支架安装在炉体两侧的上下体总成之间,龙门支架有两组立柱及连接在两组立柱之间的横梁组成。本发明在传统泡生法单晶炉基础上对支架结构进行改进,形成支架结构更稳固、受力更均匀,更加适于生长大尺寸蓝宝石单晶,解决单臂支撑结构在生长大尺寸蓝宝石单晶时因晶体过重而出现的籽晶杆倾斜和丝杠弯曲,造成提拉和旋转系统瘫痪、晶体粘埚,进而使晶体的开裂问题。 | ||
搜索关键词: | 改进 尺寸 蓝宝石 单晶炉 支架 结构 | ||
【主权项】:
改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构,它包括炉体、炉体底座、上下体总成和用于提拉旋转籽晶杆的支架结构,上下体总成包括上体和下体,其特征在于支架结构包括两端同步升降的龙门支架,龙门支架安装在炉体两侧的上下体总成之间,龙门支架有两组立柱及连接在两组立柱之间的横梁组成。
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