[发明专利]一种获得10-9Pa量级超高真空度的设备及其方法

摘要

一种获得10^-9Pa量级超高真空度的设备及其方法，它属于真空技术领域，具体涉及一种获得超高真空度的设备及其方法。本发明的目的是要解决现有实现10^-9Pa量级真空系统组成复杂、成本很高，真空获取系统占用空间大，极限真空维持稳定性差、操作复杂的问题。设备包括机械泵、波纹管、真空电磁阀、分子泵、工作室、闸板阀、卤素灯、进气孔、加热带、石英窗口、真空计、热电偶、密封法兰和工作负载。方法：首先启动机械泵，再启动分子泵，然后打开卤素灯，并启动加热带烘烤，烘烤一定时间后关闭卤素灯和加热带，直至压力为10^-9Pa时，先关闭闸板阀，关闭电磁阀、分子泵和机械泵。本发明主要用于获得10^-9Pa量级超高真空。

主权项

一种获得10^‑9Pa量级超高真空度的设备，其特征在于一种获得10^‑9Pa量级超高真空度的设备包括机械泵(1)、波纹管(2)、真空电磁阀(3)、分子泵(4)、工作室(5)、闸板阀(6)、卤素灯(7)、进气孔(8)、进气截止阀(9)、流量计(10)、气瓶截止阀(11)、减压阀(12)、气瓶(13)、加热带(14)、石英窗口(15)、真空计(16)、热电偶(17)、密封法兰(18)和工作负载(19)，所述的机械泵(1)与分子泵(4)之间通过波纹管(2)连接，在波纹管(2)上设置真空电磁阀(3)，在分子泵(4)和工作室(5)之间设置闸板阀(6)，所述的工作室(5)内设有卤素灯(7)，在工作室(5)顶端设有透光口，且透光口采用石英窗口(15)密封，在工作室(5)底部设有进气孔(8)，工作气体由气瓶(13)经减压阀(12)、气瓶截止阀(11)、流量计(10)、进气截止阀(9)和进气孔(8)进入工作室(5)内，在工作室(5)外壁四周缠绕加热带(14)，所述的工作负载(19)设置在工作室(5)内，且通过密封法兰(18)进行密封，由真空计(16)检测工作室(5)内的真空度，由热电偶(17)测量工作室(5)内温度。