[发明专利]用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法

摘要

本发明涉及一种用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及其设计方法，属于非球面检测技术领域。该补偿器包括，一个用于部分地补偿被测凸非球面的三级像差的折射式透镜和一个中心开口的球面反射镜，球面反射镜顶点位置近似位于折射式透镜的像方焦平面上，并与折射式透镜组成同轴结构，被测凸非球面与折反式部分补偿器共轴。根据光线追迹和三级像差理论，推导并计算折反式部分补偿器在检验光路中的初始结构参数，采用光学设计仿真软件作为设计平台，设置系统初始参数、优化变量、优化目标和优化操作数并进行优化，实现凸非球面反射镜全口径面形误差的检测。本发明简单快速易实现；分析全面合理；凸非球面的像差得到了很好的补偿，部分补偿器的设计难度得以简化。

主权项

用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器，其特征在于，该补偿器包括，一个折射式透镜和一个中心开口的球面反射镜，二者组成同轴结构；其中，折射式透镜用于部分地补偿被测凸非球面的三级像差，其口径大于系统入瞳直径；球面反射镜的中心有某一孔径的开口，其顶点位置近似位于折射式透镜的像方焦平面上，并与折射式透镜组成同轴结构，球面反射镜用于将被凸非球面发散的光束原路反射回凸非球面上；被测凸非球面与折反式部分补偿器共轴，构成折反式部分补偿检测系统。