[发明专利]高透节能玻璃用TZO半导体材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510793341.3 申请日: 2015-11-18
公开(公告)号: CN105272210A 公开(公告)日: 2016-01-27
发明(设计)人: 孔伟华 申请(专利权)人: 南京迪纳科光电材料有限公司
主分类号: C04B35/457 分类号: C04B35/457;C04B35/453;C04B35/622;C23C14/35
代理公司: 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 代理人: 蒋常雪
地址: 211178 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高透节能玻璃用TZO半导体材料及其制备方法,以ZnO和SnO2粉体为要原料;混合均匀,制造素坯,干燥、烧结、加工得到相对密度95%以上氧化锌锡半导体材料;体电阻率≦6×10-2Ω.cm,用做磁控溅射靶材制造透过率≥85%Low-E玻璃,取代目前大量使用的锌锡合金镀膜材料,其用于磁控溅射生产氧化锌锡膜的生产过程更加稳定,生产工艺更为简单,溅射速率高,生产效率提高5%以上,大面积镀膜膜层成分均匀组织细密,同时降低了制造双银三银Low-E玻璃对于溅射设备的要求,尤其在制造大尺寸高透Low-E玻璃方面极具优势。
搜索关键词: 节能 玻璃 tzo 半导体材料 制备 方法
【主权项】:
一种高透节能玻璃用TZO半导体材料及其制备方法,其特征在于,包括下列步骤:A. 以纯度大于99.95%的ZnO粉体和纯度大于99.9%的SnO2粉体为主成分,其中ZnO粉体的重量比为40‑80%,SnO2粉体的重量比20‑60%,主成分平均粒径为0.05‑20微米;B. 将以上构成的粉体充分混合均匀后, 用注模成型或者冷等静压成型制造相对密度大于50%的素坯,经25℃‑110℃空气干燥,然后在1200‑1600℃空气或氩气气氛炉烧结致密,经过加工得到相对密度95%以上的陶瓷半导体材料。
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