[发明专利]一种以Cu:CrOx薄膜作为空穴传输层的钙钛矿光伏电池及其制备方法

摘要

本发明属于薄膜材料与器件领域，具有涉及一种以Cu:CrO_x薄膜作为空穴传输层的钙钛矿光伏电池及其制备方法。本发明所述钙钛矿光伏电池由下到上依次包括透明导电衬底、空穴传输层Cu:CrO_x、钙钛矿光敏活性层，阴极界面层和金属电极。所述空穴传输层Cu:CrO_x是以铜铬复合靶作为靶材，通过反应射频共溅射法沉积获得。所述铜铬复合靶的结构为：在铬靶的有效溅射区内直接放置1个或几个金属铜丝圆环，各金属铜丝圆环的截面积相同，每个金属铜丝圆环的截面积为铬靶有效溅射面积的1/40。本发明所制备得到的空穴传输层Cu:CrO_x薄膜作为有机材料PEDOT:PSS的替代者，制备方法简单，工艺简化，制备工艺成本低。

主权项

一种以Cu:CrO_x薄膜作为空穴传输层的钙钛矿光伏电池，其特征在于，由下到上依次包括透明导电衬底、空穴传输层Cu:CrO_x、钙钛矿光敏活性层、阴极界面层和金属电极。