[发明专利]一种压电驱动二维扫描微镜在审
| 申请号： | 201510800889.6 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105403997A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李文翔 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李阳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电驱动二维扫描微镜，包括二维扫描微镜主体以及紧贴在其下面的压电驱动器，所述压电驱动器包括基板以及紧贴在所述基板上面的压电陶瓷块；所述二维扫描微镜主体具有能够在两相垂直的方向上分别做谐振转动的反射镜。本发明的压电驱动二维扫描微镜相比平面放置的压电悬臂梁驱动器，大大减小了器件尺寸，驱动结构稳定可靠；另外，使用万向节结构实现反射镜的二维扫描，相比其它结构，反射镜扫描更稳定，变形更小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动 二维 扫描 | ||
【主权项】：
一种压电驱动二维扫描微镜，其特征在于：包括二维扫描微镜主体以及紧贴在其下面的压电驱动器，所述压电驱动器包括基板以及紧贴在所述基板上面的压电陶瓷块；所述二维扫描微镜主体具有能够在两相垂直的方向上分别做谐振转动的反射镜。
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