[发明专利]一种基于样板治具薄膜对曝光治具薄膜的检测方法在审
| 申请号： | 201510801228.5 | 申请日： | 2015-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105334706A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 张文和 | 申请（专利权）人： | 黄石沪士电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 | 代理人： | 胡清堂 |
| 地址： | 435000 湖北省黄石市经*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于样板治具薄膜对曝光治具薄膜的检测方法，包括如下步骤：S1、在曝光机中设置涨缩阈值；S2、将样板治具薄膜与曝光治具薄膜边缘对齐、并层叠设置在曝光机上；S3、曝光机分别对样板治具薄膜与曝光治具薄膜上的光学靶点进行自动抓取，并进行距离运算比对，如果曝光治具薄膜上的光学靶点相对样板治具薄膜上的光学靶点的差异小于涨缩阈值，则曝光治具薄膜能够用于PCB板的曝光工艺中，反之则不合格。本发明的检测方法操作简单、方便，有利于提高检测效率，且直接利用曝光机上的装置进行检测，降低了检测成本，同时可一定程度提高曝光治具薄膜的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 样板 薄膜 曝光 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基于样板治具薄膜对曝光治具薄膜的检测方法，其特征在于：所述基于样板治具薄膜对曝光治具薄膜的检测方法包括如下步骤：S1、在曝光机中设置涨缩阈值；S2、将样板治具薄膜与曝光治具薄膜边缘对齐、并层叠设置在曝光机上；S3、曝光机分别对样板治具薄膜与曝光治具薄膜上的光学靶点进行自动抓取，并进行距离运算比对，如果曝光治具薄膜上的光学靶点相对样板治具薄膜上的光学靶点的差异小于涨缩阈值，则曝光治具薄膜能够用于PCB板的曝光工艺中，反之则不合格。
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