[发明专利]蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置在审
| 申请号： | 201510806316.4 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN105441897A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 史进;伍志军 | 申请（专利权）人： | 苏州赛森电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 215699 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置，其包括有工作腔室，工作腔室上端部设置有固定台；所述固定台的轴线位置设置有吸附管道，其连通至设置在工作腔室外部的真空吸附泵；所述吸附管道包括有第一管道与第二管道，第一管道与真空吸附泵进行连接，第二管道与固定台进行连接，第二管道延伸至第一管道内部，第一管道与第二管道的连接位置设置有密封圈；所述第二管道之上设置有从动齿轮，工作腔室的上端部设置有与从动齿轮相啮合的主动齿轮，主动齿轮由电机进行驱动；采用上述技术方案，其可使得圆片在实现其旋转加工的同时，避免常规固定方式对其表面进行损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 工艺 中的 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置，其包括有工作腔室，工作腔室的下端面设置有用于放置金属物料的放置台，放置台内部设置有电热源，工作腔室上端部设置有用于固定圆片的固定台，固定台由设置在工作腔室外部的电机进行驱动；其特征在于，所述固定台的轴线位置设置有吸附管道，其连通至设置在工作腔室外部的真空吸附泵；所述吸附管道包括有第一管道与第二管道，第一管道与真空吸附泵进行连接，第二管道与固定台进行连接，第二管道延伸至第一管道内部，第一管道与第二管道的连接位置设置有密封圈；所述第二管道之上设置有从动齿轮，工作腔室的上端部设置有与从动齿轮相啮合的主动齿轮，主动齿轮由电机进行驱动。
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