[发明专利]一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管及其制备方法

摘要

本发明提供的一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管，包括衬底(1)、悬臂梁(2)、源电极(301)、漏电极(302)、栅电极(303)、有机半导体层(4)、绝缘层(5)和过冲保护层(6)；绝缘层采用悬臂梁结构，在外力的作用下悬臂梁会发生形变；过冲保护层能防止悬臂梁在外力作用下超限制形变，当悬臂梁受到过大的向下方外力作用时，悬臂梁会受到过冲保护层的阻挡防止继续形变，从而保护悬臂梁使其不被损坏；有机半导体层覆盖于横梁上方，悬臂梁受到到震动影响时有机半导体层和绝缘层界面处发生变化，有机场效应晶体管迁移率发生改变。

主权项

1.一种制作悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在硅衬底上，通过光刻的方式，采用化学汽相淀积的方法制备一层过冲保护层：过冲保护层的材料为氮化硅：(2)在制备好过冲保护层的硅衬底上制备一层二氧化硅牺牲层；牺牲层覆盖硅衬底的一侧：(3)在所述步骤(2)得到的一侧覆盖有牺牲层的衬底以及另一端未覆盖牺牲层的衬底上，采用化学汽相淀积的方法制备一层氮化硅层：(4)释放步骤(3)中，由二氧化硅形成的牺牲层使得位于牺牲层上方的氮化硅层悬空，形成悬臂梁；(5)在悬空部分的氮化硅层上，采用真空蒸镀的方法制备源电极和漏电极；(6)在制备好源电极和漏电极的氮化硅层上旋涂一层有机层半导体材料，作为有机半导体层：(7)在制备好的有机半导体层上通过旋涂的方式制备一层绝缘层：(8)在绝缘层上制备栅电极。